Fakultät für Maschinenbau und Sicherheitstechnik

Dünnschichttechnik, CVD-Diamantschichten

Herstellung von Diamantschichten aus der Gasphase (Chemical Vapour Deposition) zur verschleißmindernden Beschichtung von Stahlsubstraten für Anwendungen im Maschinenbau und Hartmetallen zum Einsatz in der Werkzeugtechnik:

  • Niederdruck-Niedertemperatur-Synthese von polykristallinen Diamantschichten über Plasmajet-Verfahren; hierzu erfolgte die Optimierung der Prozessparameter und der Verfahrensführung (Substrathalterung, -kühlung)
  • Untersuchung des Einflusses unterschiedlicher Substratmaterialien (Hartmetall, Stahl) und der Werkzeuggeometrie
  • Vorbehandlung der Substratoberflächen oder Aufbringung von Zwischenschichten zur Erzielung ausreichender Haftfestigkeit der Diamantschichten für die spanende Bearbeitung von Hochleistungswerkstoffen und zum Verschleißschutz

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